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Insoladora UV para procesos de litografía óptica

KARL SUSS MJB3

Descripción del equipo

Insoladora de luz ultravioleta de uso general para los procesos de litografía óptica, operativa en la minisala amarilla de la sala limpia (clase ISO-7) en la infraestructura del Instituto de nanociencia y nanotecnología molecular de Toledo. En dicha sala, además, están disponibles otros equipos accesorios como el spinner de resina óptica, secadora de resina y los suministros de gases técnicos (nitrógeno), necesarios para el proceso litográfico

Especificaciones

lamp house for diffraction reducing optics; x-y-theta alignment stage; micrometer spindle with fine adjustment; separation stroke with height adjustable z-axis; microscope manipulator with separate brake; manometer box; vacuum-/hard-/soft-contact selectable; Timer with display up to 99 hours; Optics UV400, Lamp 350W, power supply CIC 500, sensor 405/365nm; Single Field Microscope w illumination w stroke device; Maskholder for mask 4”x 4”, wafer dia 3” Chuck for wafer or small pieces

Aplicaciones

Procesos de litografía óptica en general. Algunas aplicaciones son: Dispositivos electrónicos. Células solares. Diodos láser. Sensores. Microfluídica. Circuitos integrados.

Campus

TOLEDO

Ubicación

Instituto de Nanociencia, Nanotecnología y Materiales Moleculares

Persona de contacto

Tarifas

Utilizacion del equipo sin asistencia

si se requiere tecnico para la realizacion de los estudios la tarifa se incrementa en 100,00 euros en los tres casos

Precio Interno: 100 €/hora.

Precio Externo: 200 €/hora.

OPI Precio: 100 €/hora.

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