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Insoladora de luz ultravioleta de uso general para los procesos de litografía óptica, operativa en la minisala amarilla de la sala limpia (clase ISO-7) en la infraestructura del Instituto de nanociencia y nanotecnología molecular de Toledo. En dicha sala, además, están disponibles otros equipos accesorios como el spinner de resina óptica, secadora de resina y los suministros de gases técnicos (nitrógeno), necesarios para el proceso litográfico
lamp house for diffraction reducing optics; x-y-theta alignment stage; micrometer spindle with fine adjustment; separation stroke with height adjustable z-axis; microscope manipulator with separate brake; manometer box; vacuum-/hard-/soft-contact selectable; Timer with display up to 99 hours; Optics UV400, Lamp 350W, power supply CIC 500, sensor 405/365nm; Single Field Microscope w illumination w stroke device; Maskholder for mask 4”x 4”, wafer dia 3” Chuck for wafer or small pieces
Procesos de litografía óptica en general. Algunas aplicaciones son: Dispositivos electrónicos. Células solares. Diodos láser. Sensores. Microfluídica. Circuitos integrados.
TOLEDO
Instituto de Nanociencia, Nanotecnología y Materiales Moleculares
Rubén Guerrero Sánchez
si se requiere tecnico para la realizacion de los estudios la tarifa se incrementa en 100,00 euros en los tres casos
Precio Interno: 100 €/hora.
Precio Externo: 200 €/hora.
OPI Precio: 100 €/hora.