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Grupo de investigación:
Nanoestructuras electrónicas y capas finas

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Equipamiento

• Equipo de pulverización catódica: cámara de vacío principal para deposición con 3 fuentes sputtering magnetrón, cámara de carga con cañón de iones tipo Kaufmann de 1 keV.
• Alineador de máscaras y equipamiento de fotolitografía.
• Electrónica de caracterización eléctrica de nanoestructuras metálicas.